用扫描隧道显微镜研究了沉积在Si（111）表面并在不同温度下退火的Ce原子的各种重构。在Ce覆盖率为1/3 ml，退火温度为500的条件下，获得了-R30结构。将样品的退火温度提高到850，获得了23个重建。随着样品退火温度上升到950，样品表面存在多种重构，如23、176、116和52。退火温度进一步提高到1150以获得单一52相。根据电子计数原理，提出了由蜂窝状链和seiwatz链组成的23、52和（2n＋1）6中间相的结构模型。其中，52个在重建中，Si原子在蜂窝链中所占比例最大，Ce原子的覆盖率最低，结构最稳定。不同相的转变是由于蜂窝链和蜂窝链的形成，这导致系统能量的减少。本研究对理解稀土金属诱发的Si（111）表面重建的物理机制和转化过程具有重要意义。