铝栅极降低氧化铟锡薄膜表面电阻
作者:付潇潇; 郑卓; 王取泉; 李建民; 肖旭东
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大面积钙钛矿电池组件的效率一直比小面积电池的最高效率低10%左右。其中,透明导电氧化物(TCO)电极的横向电阻是串联电阻增加的主要因素。本文采用湿法刻蚀的方法在超白玻璃制备了一个深度为1~2m、最小横向宽度为10m的沟槽。然后,使用蒸镀金属铝和射频溅射沉积氧化铟锡(ITO)薄膜,通过调整蚀刻参数获得良好的铝网格形状。对有无铝栅的ITO薄膜的对比分析表明,有铝栅的ITO薄膜的平均透射率比无铝栅的ITO薄膜低约3.5%,横向电阻从17.4显著提高到2.4。通过调整刻蚀厚度,可以进一步降低横向电阻,从而显著提高ITO薄膜作为太阳能电池领域透明导电电极的横向电子收集能力,为玻璃基薄膜电池的大规模工业化应用提供了可能。