WO3是一个重要的电致变色材料脉，可用于屏幕显示、航空航天热控制、智能窗等许多领域。然而，在实际应用中，WO3的稳定性不足，极大地制约了其进一步发展。无定形WO3电影由磁控溅射法制作。系统研究了在去离子水、盐酸、氢氧化钠、丙酮和乙醇等不同溶液中浸泡处理对WO3薄膜表面形貌、微观结构、光学性能和性能的影响。结果表明，在去离子水、丙酮和乙醇中浸泡后，WO3薄膜有少量溶解，表面形貌没有明显变化，微观结构仍为非晶态。在盐酸浸泡后，WO3薄膜从氧化铟锡（ITO）的基底上脱落，样品受损。在氢氧化钠溶液中浸泡后，WO3与之反应生成结晶Na2WO4。在上述五种溶液中浸泡后，样品的可见光透过率提高，带隙变宽。在去离子水、氢氧化钠、丙酮和乙醇溶液中浸泡后，样品的可见光透过率在79%到85%之间，其中WO3的带隙宽度在3.22到3.40%之间。在盐酸溶液中浸泡后，只剩下衬底，带隙宽度为3.76。在丙酮、乙醇和氢氧化钠溶液中浸泡后，样品的光学调制显著，尤其是在乙醇中浸泡的WO3薄膜和在氢氧化钠溶液中浸泡的Na2WO4薄膜。在676.2nm波长下，有色态和褪色态的透射率之差为85%，显示出良好的电致变色性能。