扫描电子显微镜（配备能谱仪配件）技术作为表面微观分析的重要手段之一，可以充分显示催化剂的表面形貌和微区组成，对催化剂的研究和开发具有重要意义。本文将背散射电子成像与X射线成像相结合，研究了Au－Ni复合催化剂的表面形貌和活性组分的色散状态，并详细讨论了图像清晰度与扫描速度、工作电压和工作距离的关系。研究发现，在扫描速度为10s/Aristole、工作电压为5kV、工作距离为4mm的条件下，收集的背散射电子图像与能谱分析相结合，可以充分显示催化剂的性质，为Au－Ni复合催化剂催化活性机理的研究提供了重要的实验数据支持。本研究为纳米尺度分析精度和分辨率提供了一种有效、快速、方便的表征技术，有助于电子显微镜相关人员更好地理解背散射现象的物理机制。