针对工业机器人六自由度定位精度受接头加工和装配误差等不确定因素影响的问题，提出了一种基于运动学模型和Kriging代理模型的工业机器人六自由度可靠性分析方法。通过D-H模型建立了工业机器人六自由度的理想正运动学模型，并建立了各关节拟合面的误差传递路径。结合小位移旋量法（SDT）和MD-h模型，建立了工业机器人六自由度的运动模型，包括节点误差，并在蒙特卡洛进行了仿真试验。通过拉丁超立方抽样（LHS）试验，建立了工业机器人六自由度功能的Kriging代理模型。基于代理模型和蒙特卡罗方法进行了可靠性分析和灵敏度分析，确定了影响工业机器人六自由度定位精度的主要因素。