微波器件中绝缘膜的质量提升及工艺技术研究
作者:张宇; 李琳; 李枘; 王宇; 马晓琳
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目前,随着军品向小型化和集成化的逐步发展,微波器件的消费量也在不断增加。由于微波器件自身工艺的特殊性和可维护性差,一旦出现质量问题,将导致内部精密部件报废,从而增加产品的制造成本和周期。然后,找出了现有微波加工工艺中毛刺产生的根本原因,找出了导致薄膜质量提高的主要问题,并通过对现有工艺的比较,最终提高了产品质量。
目前,随着军品向小型化和集成化的逐步发展,微波器件的消费量也在不断增加。由于微波器件自身工艺的特殊性和可维护性差,一旦出现质量问题,将导致内部精密部件报废,从而增加产品的制造成本和周期。然后,找出了现有微波加工工艺中毛刺产生的根本原因,找出了导致薄膜质量提高的主要问题,并通过对现有工艺的比较,最终提高了产品质量。