本文以200 W纳秒脉冲光纤激光器为研究对象，对GH3030镍基高温合金表面碳和氧化物的激光清洗进行了研究。分析了表面粗糙度和显微硬度激光光斑搭接率对清洁表面形貌、元素组成、相组成的影响。结果表明，随着激光光斑重叠率从58.33%增加到70.83%，碳、氧含量先降低后升高，镍含量先升高后降低，表面粗糙度含量先降低后升高。当光斑重叠率为66.67%时，碳元素和碳元素的含氧量下降到最低值，分别为5.01%和1.40%。与此同时，表面粗糙度镍含量达到峰值72.96 wt%，Ra和Rz分别降低至0.229 m和1.47 m。改变搭接率的激光光斑不会对GH3030高温合金表面产生重大影响。